?林本堅17年前的勇敢決定,造就臺灣最大半導(dǎo)體聚落

隨著未來臺積電最先進的 5 奈米、3 奈米先進制程在南科生產(chǎn)，南臺灣將超過新竹、臺中，成為臺灣最大半導(dǎo)體群聚，占臺積營收比重更將超過 50%。 這一切都要回到 17 年前，如果，當時的臺積電副總經(jīng)理林本堅抗壓性弱一點，這些成果可能將不復(fù)存在......

金庸第一本小說《書劍恩仇錄》有個武當派高手，外號叫「綿里針」，他是金庸創(chuàng)造的第一個人物，據(jù)說是拿報社專門催他稿的老編輯為原型。 是一個平時溫文、但是一旦認真起來，即便天王老子也敢拚命的生動人物。

臺灣科技業(yè)里頭的「綿里針」，則非兩年前退休的臺積電前研發(fā)副總經(jīng)理林本堅莫屬。

中研院第一個產(chǎn)業(yè)界院士

林本堅是臺積電，甚至整個臺灣科技業(yè)的傳奇人物。 當前全球半導(dǎo)體高階制程所用的浸潤式微影技術(shù)，便來自他的發(fā)明。 他也因此成為中研院第一位產(chǎn)業(yè)界出身的院士。

3 月 30 日，是他自傳《把心放上去：林本堅的「用心則樂」人生學(xué)》的新書發(fā)表會。

書中最讓舊識好友們津津樂道的一段，就是林本堅早年在 IBM 半導(dǎo)體部門做深紫外光微影研究時，公司的發(fā)展主流，卻是另一項 X 光微影技術(shù)，不但人力資源遠超過他的團隊，而且，負責 X 光微影的主管，同時也是林本堅的頂頭上司。 他在公司處境之尷尬可想而知。

但這位以好好先生著稱，臺積電部屬十多年幾乎沒見他發(fā)過脾氣的「Burn（林本堅的英文名字）爺爺」，竟不甘忍氣吞聲，以幽默的方式，公開與上司唱反調(diào)。
某天，X 光微影技術(shù)有了重大進展，他的上司發(fā)給每人一件 T 恤「X ray works」（X 光有用）以資慶賀，林本堅竟是在后面加了 3 個字，成了「X ray works – for the dentists」（X 光可用，是在牙醫(yī)診所），還 用磁鐵掛在他辦公桌后面的文件柜上，昭告所有路過的同事（值得一提的是，深紫外光，成了半導(dǎo)體過去 30 年的主要光源，X ray 則至今仍未商用化）。

形勢比人強，林本堅還是在 50 歲，申請?zhí)嵩缤诵輨?chuàng)業(yè)，并在 2000 年加入臺積負責微影研發(fā)。


工作兩年，就搞出大事

他到臺積電工作兩年，就搞出轟動全世界半導(dǎo)體界的大事。

當時業(yè)界主要微影光源──波長 193 奈米的雷射，性能已經(jīng)難以持續(xù)推動摩爾定律。 而預(yù)計接棒的 157 奈米光源，因為種種技術(shù)難題，商用化時程一再延后，成為業(yè)界頭痛的問題。

當林本堅在 2002 年，應(yīng)邀到 157 奈米的業(yè)界研討會，竟然以一個眾人都沒想到的技術(shù)──將既有技術(shù)小幅改良的 193 奈米浸潤式微影為演講主題，結(jié)果引起滿場轟動。

把摩爾定律推進七代

一個日本、美國、歐洲設(shè)備廠投下百億美元研發(fā)的技術(shù)，就因為林本堅一席話而被擱置。

當時是林本堅上司、臺積電共同前營運長蔣尚義回憶，當時確實有設(shè)備大廠的高層主管表達嚴重關(guān)切，「希望我能管管他，不要攪局，」他在林本堅的新書序里寫著。
林本堅的新書中，將「發(fā)明并推廣浸潤式微影，把摩爾定律推進了七代」列入自己在投影微影領(lǐng)域的八項貢獻之一。

其中另一項，他在 IBM 工作時期完成的研究，「仿真機臺震動隊成像容忍度的影響」，看似不起眼，但對臺灣科技業(yè)的持續(xù)發(fā)展，亦有巨大貢獻。

一句話，讓臺積南科廠繼續(xù)蓋

時間回到 2001 年，當時臺灣朝野為了高鐵完工之后，以 300 公里時速呼嘯而過產(chǎn)生的震動，會不會影響附近南科區(qū)內(nèi)半導(dǎo)體廠生產(chǎn)，而爭論不休。

當時臺積的在南科已有一座六廠，十四廠廠房外觀剛完工，但設(shè)備尚未搬入，便暫停施工。 「整個園區(qū)都有這困擾，要不要蓋下去，不曉得怎么辦？ 」林本堅回憶。

蔣尚義推薦林本堅加入臺積內(nèi)部的評估小組，因為他負責的光學(xué)微影對震動最敏感，他覺得沒影響，其他部份理應(yīng)也沒影響。 他欣然同意，因為他在 IBM 做過過震動對機臺影響的研究，正巧派上用場。

他做了詳盡的實驗，細細分析之后，得出結(jié)論：「沒有影響。 」

「那個時候，假如我是為了保護自己，我會說不要做，就不蓋了，絕對不會出事，」林本堅說，「我說可以做，（萬一出事）就要負很大責任。 」
但他對于自己的實驗結(jié)果與計算很有信心，結(jié)果顯示，臺積電廠址距離高鐵震動影響最嚴重的地方，還有一段安全距離，「沒有證據(jù)都支持我說沒有不行，所有事實都是支持我說可以。 」

于是，在 2001 年 10 月底，臺積電出乎意料的宣布，經(jīng)過該公司針對高鐵振動問題的項目小組評估，「確認在妥善的工程技術(shù)之下，未來高鐵行經(jīng)南科附近時所帶來的振動對該公司集成電路生產(chǎn)不致造成影響。 」



▲ 南科已成為臺積電未來十年的擴廠重點。

帶動半導(dǎo)體群聚效應(yīng)

臺積電董事長張忠謀一聲令下，原先停工的 14 廠復(fù)工。 紛擾一時的高鐵震動爭議，也因此煙消云散。 聯(lián)電等其他半導(dǎo)體廠，也跟著在南科加碼投資。

目前南科已成為臺積電未來十年的擴廠重點，不但目前 16 奈米及 20 奈米制程均在南科生產(chǎn)，未來的 5 奈米、3 奈米先進制程也都將在此。 預(yù)計占臺積營收比重，將超過 50%。 預(yù)計員工人數(shù)超過 1.4 萬人，帶動的群聚效應(yīng)、投資外溢效果更遠超過這些數(shù)字。

而這都來自這個眼神專注安定的半導(dǎo)體大師，當年一個勇敢的決定。

問林本堅，為何這段軼事沒寫進自傳。 他莞爾一笑：「這小事。 」